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第67章（第1页）

第67章

众人屏住呼吸，目光紧紧地盯着光刻机。

光源开启，一道耀眼的光线瞬间射出。

闪烁探测器在大屏幕上实时展示着光刻机内部光线的变换。

许映雪指着屏幕讲解：“光线经过光学系统的准直、聚焦等处理后照射在掩膜版上，再通过掩膜版将图案投射到晶圆表面的光刻胶上。”

在众人紧张的注视下，图案清晰地投射到晶圆表面的光刻胶上，发生化学反应后，光刻胶图案在晶圆上显现出来。

“成了！”

杨方忍不住低呼一声。

其他人也纷纷发出惊叹声。

徐阳却依旧保持冷静：“别急，还有显影这一步。

显影液成分是米吐尔、对苯二酚、菲尼酮等，显影能力和速度都好，这一步多半没问题。”

他按下按钮，曝光过后的晶圆被显影液吞没。

由于不同成分在显影液中的溶解度不同，光刻胶上的图案很快在晶圆上清晰地显现出来，7纳米的刻蚀精度纤毫毕现。

杨方激动地跳了起来，高声喊道：“成了！

这是龙国的一大步！”

许多人跟着欢呼起来，脸上洋溢着兴奋和自豪。

“就这？”

一个头发乱糟糟的科研人员怀疑道，“7纳米？光刻精度肉眼也看不出来啊。”

徐阳泰然自若。

他微微一笑，做了个“请”

的手势：“各位随意测试，当然，安全第一。”

一个年轻的科研人员，名叫小邓，弱弱地举起手：“徐…徐顾问，我…我能用我的电子显微镜看看吗？”

“当然可以。”

徐阳爽快地答应了。